03-09

蒸銻臺倍增級磁控鍍膜機
倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數字化編程、程序控制和動態監測,能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據,達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

MPO專用遮光膜鍍膜設備
該設備為高真空電子束蒸鍍設備,即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料,使其氣化并沉積在基片表面;此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金;設備由立式前開門水冷真空室、真空系統、工裝系統、電子束沉積系統、離子轟擊系統、加熱系統、測量及監控系統、電控系統、輔助系統(機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件)等組成。

多工位真空鍍膜及封接檢測設備
設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。

倍增級磁控鍍膜機
倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數字化編程、程序控制和動態監測,能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據,達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

MPO專用遮光膜鍍膜設備
該設備為高真空電子束蒸鍍設備,即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料,使其氣化并沉積在基片表面;此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金;設備由立式前開門水冷真空室、真空系統、工裝系統、電子束沉積系統、離子轟擊系統、加熱系統、測量及監控系統、電控系統、輔助系統(機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件)等組成。

多工位真空鍍膜及封接檢測設備
設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。
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