03-09
直線式勞埃透鏡鍍制機
直線式勞埃透鏡鍍制機，是為高能同步輻射光源（HEPS）研發的高端儀器裝備，用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點是膜層層數多（數千層甚至更多）且膜層位置和厚度精度高（總位置平均誤差小于±5nm，每層的厚度誤差小于0.1nm）。為了保證每個膜層的厚度精度，采用磁控濺射技術來實現膜片的制備，其優點是，能夠精確控制膜層厚度，重復性好，薄膜與基片結合緊密，薄膜純度高、致密性好。
倍增級磁控鍍膜機
倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數字化編程、程序控制和動態監測，能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
MPO專用遮光膜鍍膜設備
該設備為高真空電子束蒸鍍設備，即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料，使其氣化并沉積在基片表面；此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金；設備由立式前開門水冷真空室、真空系統、工裝系統、電子束沉積系統、離子轟擊系統、加熱系統、測量及監控系統、電控系統、輔助系統（機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件）等組成。
中高溫集熱管鍍膜生產線
Φ70x4060集熱管鍍膜生產線，產線主體Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次為預處理室、工藝1室、工藝2室和出樣室；產線配移動式公自轉工裝架及工裝架閉環輸送系統，工裝架裝載量20只（Φ70）；工裝架閉環輸送系統由橫移車及直線輸送線組成，在閉環輸送系統中工裝架自動運行。預處理室、工藝1室帶加熱，加熱溫度300℃。工藝1室配2只圓柱靶或內裝平面靶，接直流電源用于沉積底層金屬，工藝2室配2對孿生靶接中頻電源；沉積AL、Ti、Si等構成的多層陶瓷本征吸收層；系統除裝卸件外，均自動運行，自動化程度較高，滿足光干涉膜、金屬陶瓷膜等選擇性吸熱膜的批生產需要。
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