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繼電器
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產品詳情
參數
1. 針對不同需求,對產品充氣:選用氣氛:氫氣、氮氣、氦氣或其他惰性氣體;
2. 充氣壓力:< 0.4MPa,有壓力計儀表顯示;
3. 鉗斷:使產品與設備分離。
4. 排除通往產品管路的殘留氣體,進行下一批產品排氣。
5. 工位數:5 個,可單獨或任意多個工位組合工作,每把套密封夾具配一個獨立的電磁截止閥,可獨立控制每個工位密封夾具;
6. 排氣接口:排氣管直徑φ 4×50,需快速的接駁在排氣工作臺接口之上.。
7. 真空度:主系統極限真空度達到 5×10-6 Pa;
8. 真空系統為無油系統,采用磁懸浮分子泵、干式機械泵,真空泵采用進口品牌;
9. 所有涉及真空部件都嚴格遵守超高真空制造工藝,每條管道、每個閥門都經嚴格的檢漏及清洗除氣,保證無污染,漏率低于 1x10-9 Pa.m3/s。
10. 充氣系統:由充氣主閥、壓力表等組成,充氣系統管道按超高真空工藝制造
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